В Госкорпорации «Росатом» состоялось заседание научно-технического совета № 7 «Фотонные и квантовые технологии».
Участники обсудили методы и инструментальную базу нанолитографии для фотоники и квантовых технологий, а также методы создания наноструктур и новых наноматериалов.
«Сегодняшнее заседание НТС посвящено вопросам развития электронной литографии. Это важная для нас тема, поэтому мы внимательно следим за тем, как развиваются события по направлению создания отечественного рентгеновского литографа», — отметил в приветственном слове к участникам совещания научный руководитель НЦФМ, академик РАН Александр Сергеев.
С докладами выступили:
⬅️Ростислав Величко, АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) —
«О состоянии дел в проекте создания отечественного литографа».
⬅️ Данила Колымагин, Институт квантовых технологий Московского физико-технического института (МФТИ) —
«Создание универсального электронно-лучевого литографа с гауссовым пучком. Результаты разработки однолучевого двухфотонного литографа с превышением дифракционного предела».
⬅️ Вячеслав Медведев, Институт спектроскопии Российской академии наук (ИСАН), к.ф.-м.н. —
«Плазменные источники как основа современной фотонанолитографии».
⬅️Андрей Наумов, Троицкое обособленное подразделение Физического института им. П.Н. Лебедева Российской академии наук» (ТОП ФИАН), член-корреспондент РАН, д.ф.-м.н. —
«О реинжиниринге и современных примерах применения электронно-лучевого штампового литографа ZBA-21».
⬅️Николай Чхало, Институт физики микроструктур РАН — филиал ФИЦ «Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук» (ИФМ РАН), член-корреспондент РАН, д.ф.-м.н.—
«Состояние дел по проекту рентгеновского литографа на длину волны 11.2 нм».
